无机质谱仪主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面，它与有机质谱仪工作原理不同的是物质离子化的方式不一样：无机质谱仪是以电感耦合高频放电（ICP）或其他的方式使被测物质离子化。

　　无机质谱仪广泛用于地质学、矿物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术和公安工作等特种分析方面。

　　维护保养：

　　1、机械泵振气，ESI源每周一次，APCI源每天一次

　　2、检查机械泵状况，每周一次

　　3、更换机械泵油，连续工作没3000h更换一次或当泵油明显变色或液面下降至1/2以下时

　　4、清洗探头尖，更换毛细管，当出现堵塞、灵敏度下降时

　　5、清洁电晕放电针（APCI），当看上去已腐蚀、变黑或灵敏度下降时

　　6、清洗采样锥孔和挡板，当明显变脏、变黑或灵敏度下降时

　　7、清洗萃取锥孔、离子座和六极器，当明显变脏或背景杂质峰太多，清洗完采样锥孔后灵敏度仍低时